如何判断SBC滑块是否需要更换？4个自检指标分享

而作为工业自动化与精密制造的核心组件的SBC滑块，其所呈现的运行状态直接决定了设备的精度与生产的效率都到了什么样的程度。而设备的定位偏差、运行的卡顿、异常的噪音都将极大地考验着我们对其的正确的判断和及时的更换，尤其是对于滑块的更换更是如此。依托于对接近10年的行业经验的深入挖掘以及对多个客户的实地测数据的总结，我们将4个更关键的自检指标与您一一分享，帮助您更加精准地评估出slider的状态是否存在问题。

一、磨损量检测：0.1mm是临界值

尽管经过了对SBC滑块的精心的硬化处理，其接触的表面硬度都可达HRC60以上，但长期的运用中也还是会因其所产生的摩擦而不可避免的产生一定的磨损。通过定期的每月对滑块与导轨的接触面用游标卡尺的测量发现其磨损量均在0.1mm以下，对其更换可延长了用机的寿命。若其磨损量超过0.1mm则应立即更换。随着某半导体设备的改造中，当滑块的磨损量达到了0.12mm时就已初现出了设备的重复定位精度的下降（从原来的±0.01mm降低至±0.03mm），从而导致了晶圆的传输也随之上升了15%。

二、预压力偏差：5%是警戒线

预压力是确保滑块与导轨紧密贴合的关键参数。基于对螺栓的紧固度分别由扭矩扳手的检测我们就可以对其预压力的偏差进行初步的评估，若预压力偏差超过了额定值的5%，则对其加速的滑块内部的滚珠/滚柱的磨损都将会产生较大的不良影响。如某龙门铣床的典型案例所示，当其工作的预压力仅有7%的偏差时，其所对应的滑块的刚性衰减率就已经从5%一跃而起到12%，从而使其连续的工作寿命缩短至15000小时以上。

三、润滑系统泄漏：60%泄漏率需警惕

借助对SBC滑块的三点式注油孔及高硬度的塑料端盖的合理的设计下，正常的工况下其润滑脂的泄漏率均应低于10%。如发现了油孔周围的油渍，或是设备的正常工作寿命都要经常通过加脂的方式来维持，均说明了其密封结构已大大失效了。由此可见，手机组装线的改造中就存在着一系列的隐患，例如密封的失效就直接导致了滑块的故障率从原来的0.3%一下子就升至了1.8%，甚至更严重的就是给公司的年维护成本也就增加了12万元这样的大笔的经费。

四、动态响应衰减：0.3秒是分水岭

其对高速运动的动态响应时间直接决定了其在半导体的生产、工业的机械自动化等领域的生产节拍和生产效率的提高.。采用对其的激光干涉的检测我们可以对滑块从静止到达额定速度的所花的加速时间的长短做出初步的判断手段，若其所花的时间大于0.3秒则说明内部的滚轮的惯量增大或润滑的失效等都有可能.。借助对一家8英寸的晶圆厂的深入调查，我们发现了一个颇为典型的例子：当其滑块的响应时间延长到0.35秒时就已引起了设备的产能下降达18%之多。

采用对自检的进一步完善手段，我们可以将其提升为一个相对较为规范的月度巡检制度，其主要的工作就是对设备的磨损量、预设的压力、泄漏的率与对应的响应时间等四大关键指标的逐一记录和分析，从而对设备的使用情况、工作的效率等都能有一个较为全面的把握和把关。但当各个指标的值接近或已经接近了其对应的临界值时，我们就应提前将备件准备好并按照一定的周期对其进行更换，从而有效的避免了因指标的指向性所带来的非计划的停机等事故的发生。基于对振动的实时监控（只要超过了0.01mm的微小的振动就能触发相应的预警），就能将原本的将滑块更换的周期从原来的12个月的时间上延长至了18个月，从而为我们节省了不少的维护成本达30%以上。